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RFID（無(wú)線(xiàn)射頻識(shí)別）技術(shù)在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用非常廣泛，它通過(guò)非接觸式的自動(dòng)識(shí)別和數(shù)據(jù)采集，為半導(dǎo)體制造過(guò)程的追蹤、管理和優(yōu)化提供了有效的解決方案。以下是一些具體的應(yīng)用案例：
圖一 AH-LC-V640
1. 生產(chǎn)過(guò)程追蹤和控制：
- 在半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)上，RFID技術(shù)可以追蹤晶圓盒的物料型號(hào)、規(guī)格和加工流程等信息，實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)過(guò)程的精確控制和調(diào)整。
- 通過(guò)在晶圓盒上部署TI玻璃管標(biāo)簽，半導(dǎo)體RFID讀寫(xiě)器能夠識(shí)別標(biāo)簽內(nèi)的信息，
從而對(duì)生產(chǎn)過(guò)程進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控。
2. 晶圓硅晶片清洗環(huán)節(jié)：
- 清洗區(qū)域內(nèi)的TI玻璃管標(biāo)簽被半導(dǎo)體RFID讀寫(xiě)器讀取，以確定晶圓硅晶片的信息和到達(dá)清洗位的時(shí)間。
- 清洗完成后，記錄清洗時(shí)間，并對(duì)已清洗的晶圓硅晶片進(jìn)行標(biāo)記，然后將信息上傳到管理系統(tǒng)。
3. 晶圓盒存儲(chǔ)柜管理：
- 半導(dǎo)體RFID讀寫(xiě)器嵌入存儲(chǔ)柜，自動(dòng)上傳晶圓盒的存取信息和時(shí)間到管理系統(tǒng)，并實(shí)時(shí)更新數(shù)據(jù)庫(kù)。
4. 半導(dǎo)體電子貨架管理：
- 電子貨架上的半導(dǎo)體RFID讀寫(xiě)器自動(dòng)讀取晶圓盒信息，并在顯示屏上顯示晶圓產(chǎn)品的部分種類(lèi)信息。
- 當(dāng)晶圓盒被取走，讀寫(xiě)器無(wú)法讀取標(biāo)簽時(shí)，會(huì)在顯示屏上顯示產(chǎn)品已被取走。
5. 半導(dǎo)體天車(chē)站點(diǎn)識(shí)別與搬運(yùn)管理：
- 天車(chē)上安裝的半導(dǎo)體RFID讀寫(xiě)器讀取軌道節(jié)點(diǎn)處的RFID標(biāo)簽，獲取天車(chē)行車(chē)位置信息，進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和調(diào)度。
- 當(dāng)搬運(yùn)FOUP晶圓盒時(shí)，確保所搬運(yùn)的晶圓盒準(zhǔn)確無(wú)誤，并將信息上傳到管理系統(tǒng)。
RFID應(yīng)用環(huán)境之一OHT
6. 崇越石英制造廠(chǎng)案例：
- 崇越石英制造廠(chǎng)利用RFID技術(shù)實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)流程的可視化，通過(guò)在作業(yè)工單上釘付RFID標(biāo)簽，并在制程出入口架設(shè)讀取設(shè)備，
記錄作業(yè)工單的進(jìn)出時(shí)間，從而掌握產(chǎn)品在各個(gè)制程中的實(shí)際耗時(shí)。
7. NEC崇越石英RFID入退場(chǎng)管理系統(tǒng)：
- 該系統(tǒng)通過(guò)自動(dòng)讀取作業(yè)工單上的RFID標(biāo)簽，讓制程可視化，并幫助管理層了解每種產(chǎn)品在各制程中的實(shí)際耗時(shí)，找出瓶頸并進(jìn)行改善。
8. RFID技術(shù)在保證生產(chǎn)效率和發(fā)現(xiàn)潛在問(wèn)題方面的應(yīng)用：
- 在FOUP盒上植入RFID標(biāo)簽，通過(guò)半導(dǎo)體讀寫(xiě)器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和反饋信息，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化生產(chǎn)，減少人工干預(yù)，提高響應(yīng)效率，并在問(wèn)題發(fā)生時(shí)能夠追溯原因。
9. RFID在半導(dǎo)體車(chē)間AGV搬運(yùn)機(jī)器人的應(yīng)用：
- AGV小車(chē)上安裝RFID讀寫(xiě)器，通過(guò)讀取軌道節(jié)點(diǎn)的RFID載碼體信息，實(shí)現(xiàn)物料的無(wú)人化運(yùn)輸管理和實(shí)時(shí)監(jiān)控。
10. RFID半導(dǎo)體產(chǎn)線(xiàn)應(yīng)用：
- 工業(yè)RFID讀卡器如AH-LC-V640被用于半導(dǎo)體行業(yè)的生產(chǎn)線(xiàn)，通過(guò)RFID技術(shù)對(duì)生產(chǎn)線(xiàn)進(jìn)行智能化改造，提高生產(chǎn)效率。
這些案例展示了RFID技術(shù)在半導(dǎo)體行業(yè)中的多樣化應(yīng)用，從生產(chǎn)流程的自動(dòng)化管理到質(zhì)量監(jiān)控，再到物料搬運(yùn)和庫(kù)存管理，RFID技術(shù)都發(fā)揮著重要作用。通過(guò)這些應(yīng)用，
半導(dǎo)體制造企業(yè)能夠提高生產(chǎn)效率、降低成本、提升產(chǎn)品質(zhì)量，并實(shí)現(xiàn)智能化管理。
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